氢氟酸蒸汽腐蚀系统
- 制造厂商：SPTS
- 购置日期：暂无信息
- 型号：MON3-A
- 生产国别：英国
- 仪器类别：工艺实验设备
- 安放地址：上海市
跨区域科技政策：
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上海
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- 仪器详情
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该设备为微机械加工工艺设备，利用气相HF对牺牲层二氧化硅的腐蚀，实现结构释放。
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暂无信息
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暂无信息
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腐蚀速>100nm/min；均匀性<±5%
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电子与通信技术
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腐蚀氧化硅，释放悬空结构
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暂无信息
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暂无信息
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
机构介绍:
上海科学院上海微系统与信息技术研究所原名中国科学院上海冶金研究所，是中国科学院所属以信息微系统技术的研究与开发为主的高技术研究所，主要研究领域包括微电子机械系统、传感器技术、无线信息网络、射频与微波模块、光电子器件、生物芯片、新型电池技术等。该所以国家需求为导向，围绕“电子科学与技术”、“信息与通信工程”两大新的学科方向，利用本所在功能材料与器件研究方面的积累和微电子平台工艺技术为支撑，以“小卫星、微系统技术平台”两个重大项目为依托，以系统带器件、器件带材料、加强原始创新，加强关键技术创新与集成研究，开展集成微光机电系统、天地一体化通信技术与系统，信息功能材料与器件、微型和新型能源技术与系统等研究活动。中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院上海微系统与信息技术研究所。
资质能力：
