表面形貌测试仪
- 制造厂商：美国Veeco公司
- 购置日期：2001-01-01
- 型号：Dektak 6M
- 生产国别：美国
- 仪器类别：工艺实验设备
- 安放地址：上海市
跨区域科技政策：
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- 仪器详情
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台阶仪是一维的力反馈式计算机控制的表面形貌分析仪，具有台阶测试、形貌检测和应力分析等功能。在形貌检测上，能够给出一维曲线的表面粗糙度、峰态、曲率半径等参数。应力分析的基本测试原理是通过获得沉积薄膜前后晶圆表面的曲率半径差而获得。计算机中的软件提供相应的曲线处理功能，如置平、平均、台阶校准和应力计算等。
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主要指标：1． 测量的高度分辨率为0.1nm。2． 最大扫描长度3cm。3． 台阶的测量有6.5 ，65.5 ，260 和1mm四个量程。4． 测试的力载荷从1mN到15mN。
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
机构介绍:
上海科学院上海微系统与信息技术研究所原名中国科学院上海冶金研究所，是中国科学院所属以信息微系统技术的研究与开发为主的高技术研究所，主要研究领域包括微电子机械系统、传感器技术、无线信息网络、射频与微波模块、光电子器件、生物芯片、新型电池技术等。该所以国家需求为导向，围绕“电子科学与技术”、“信息与通信工程”两大新的学科方向，利用本所在功能材料与器件研究方面的积累和微电子平台工艺技术为支撑，以“小卫星、微系统技术平台”两个重大项目为依托，以系统带器件、器件带材料、加强原始创新，加强关键技术创新与集成研究，开展集成微光机电系统、天地一体化通信技术与系统，信息功能材料与器件、微型和新型能源技术与系统等研究活动。中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院上海微系统与信息技术研究所。
资质能力：
