椭偏仪
- 制造厂商：SOPRA
- 购置日期：2002-06-24
- 型号：GES5FTIR
- 生产国别：美国
- 仪器类别：工艺实验设备
- 安放地址：上海市
跨区域科技政策：
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- 仪器详情
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利用激光光源发射出单色光和红外线，经起偏器后变成偏振光，在样品表面反射后，光的振幅和位相发生变化，由此来测量Si衬底上薄膜的厚度。
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1. 可见光分光计（UV-Visible）
焦距：750mm；标准光谱范围：210-900nm；离差为550nm：0.45nm/mm；波长准确度0.04nm到313nm；在10nm的放射光下，偏离光小于0.01%。2. 近红外项目（NIR 3 OPTION）
能借助分光镜完成测量，能测的近红外转换光谱范围从0.9微米到2.0微米；利用电子学和光学插件模块对近红外测量进行支持。3. 红外变角度傅立叶变换椭偏法（FT-IRSE OPTION）光谱范围:1.44微米到17微米；光谱精确性：±0.2cm-1。 -
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
机构介绍:
上海科学院上海微系统与信息技术研究所原名中国科学院上海冶金研究所，是中国科学院所属以信息微系统技术的研究与开发为主的高技术研究所，主要研究领域包括微电子机械系统、传感器技术、无线信息网络、射频与微波模块、光电子器件、生物芯片、新型电池技术等。该所以国家需求为导向，围绕“电子科学与技术”、“信息与通信工程”两大新的学科方向，利用本所在功能材料与器件研究方面的积累和微电子平台工艺技术为支撑，以“小卫星、微系统技术平台”两个重大项目为依托，以系统带器件、器件带材料、加强原始创新，加强关键技术创新与集成研究，开展集成微光机电系统、天地一体化通信技术与系统，信息功能材料与器件、微型和新型能源技术与系统等研究活动。中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院上海微系统与信息技术研究所。
资质能力：
