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聚焦离子束系统

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  • 仪器详情
  • FEI Company

  • 2017-10-17

  • FIB800

  • 美国

  • 分析仪器

  • 上海市

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  • 分辨率5nm,30kV加速电压,离子束流1-11000pA

  • FIB200目前主要用以0.18um 以上集成电路修补包括Pt互连,新型辅助气体搭配离子束快速切割,低阻值探点的快速生成,电阻模拟,X-section 和TEM lamella 的制备等.

  • 电子与通信技术

  • 1.IC芯片电路修改 用FIB对芯片电路进行物理修改可使芯片设计者对芯片问题处作针 对性的测试,以便更快、更准确的验证设计方案。若芯片部分区域有问 题,可通过FIB对此区域隔离或改正此区域功能,以便找到问题的症结。 FIB还能在最终产品量产之前提供部分样片和工程片,利用这些样 片能加速终端产品的上市时间。利用FIB修改芯片可以减少不成功的设计 方案修改次数,缩短研发时间和周期。 2.Cross-Section截面分析 用FIB在IC芯片特定位置作截面断层,以便观测材料的截面结构与材质,定点分析芯片结构缺陷。 3.Probing Pad 在复杂IC线路中任意位置点,以便进一步使用探针台(Probe-Station) 或E-beam直接观察IC内部信号。

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上海聚跃检测技术有限公司

机构介绍: 上海聚跃检测技术有限公司 2017年成立于上海漕河泾开发区。一直专注于IC集成电路的第三方检测分析,为IC设计公司、科研院所以及生产厂商提供快速且专业的芯片检测分析服务,包括化性服务、芯片线路修补、失效分析、反向拍照、快速封装等。

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