扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一

束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电

子、X光信号、背面射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产

生的电磁辐射。根据信号强度形成形貌照片，能高倍率观察表面

外观形貌。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被

测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体

结构、电子结构和内部电场或磁场等。

单位介绍

• 上海聚跃检测技术有限公司 2017年成立于上海漕河泾开发区。一直专注于IC集成电路的第三方检测分析，为IC设计公司、科研院所以及生产厂商提供快速且专业的芯片检测分析服务，包括化性服务、芯片线路修补、失效分析、反向拍照、快速封装等。

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