上海大学分析测试中心

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场发射高分辨透射电子显微镜:加速电压:200KV,点分辨率:0.24NM,线分辨率:0.1NM,透射扫描线分辨率:0.20NM,电子束斑大小:TEM模式:2-5NM:汇聚束模式:0.5-2.4NM,放大倍率:低倍模式:50-6000,标准模式:2000-1500000:选区模式:8000-800000,选区衍射相机长度:8-150CM,高分散衍射相机长度:4-80M,样品台倾斜角度:X:正负35度 Y:正负30度,EDS分辨率:MNKA小于136eV;分析元素范围:B5-U92。场发射高分辨扫描电子显微镜:二次电子像分辨率:1.0NM(15KV);2.2NM(1KV) 背散射电子像分辨率:3NM(15KV),WD=8MM)EDS分辨率:136eV EDS 元素分析范围:B-U。微区转靶X射线衍射仪:发生器垂直类60KV-600mA(Max18KW),灯丝:0.5X10L,束高:310mm,全自动测角器- 垂直关。椭圆偏振光谱仪:波长范围:260-1700nm;光斑尺寸人工可调0.1-0.2-1nm; 样品水平放置;入射角可以0.01度步长在 :45-90度范围内自动改变;8英寸自动XY移动台。纳米粒度及电位分析仪:样品精度:2 nm to 3 microns与5 nm to 30 microns; 量程:2纳米-3000纳米; 角度:12-90度;运动范围:正负10μm/vs; 电导率:0-30ms/cm; 温度:10-70度。

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