LPCVD(低压力化学气相沉积系统)
- 制造厂商：英国Thermco Systems
- 购置日期：暂无信息
- 型号：DFS250
- 生产国别：英国
- 仪器类别：工艺实验设备
- 安放地址：江苏省
跨区域科技政策：
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- 仪器详情
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退火、氧化
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暂无信息
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暂无信息
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1、常压退火，温度控制显示精度全量程0.1°C；炉体外部三点控温，各个SPIKE测量点都采用双热电偶，在一只热电偶断路时另一只能继续完成工艺；工艺器期间，炉体内部使用profile精确控温模式。 2、程序控制单元，气体/压力控制精度±0.5%；
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电子与通信技术
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100片6英寸、100片四英寸基片或100片两英寸基片退火氧化，工艺气体N2/O2。
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285nm SiO2热氧化
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300元/小时，通氧气时外加300元/小时
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暂无信息
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暂无信息
