原子层沉积系统
- 制造厂商：picosun
- 购置日期：暂无信息
- 型号：R-200Std
- 生产国别：芬兰
- 仪器类别：
- 安放地址：上海市
跨区域科技政策：
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上海
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- 仪器详情
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原子层沉积氧化锡、氧化铝薄膜。
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暂无信息
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能源/核技术
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6英寸硅片上沉积50nm Al2O3薄膜，薄膜不均匀性：≤ ±1%
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材料科学
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提供原子层沉积氧化锡、氧化铝薄膜。
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暂无信息
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免费使用。
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860
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140
上海交通大学
机构介绍: 上海交通大学是教育部直属、由教育部和上海市共建的全国重点大学。近几年来，每年科研项目超过1500项，科研经费突破6亿元。高清晰度数字电视系统、MCFC燃料电池、以1mm微马达为核心器件的微机械等一大批高水平科研成果已经或可望产生巨大的经济效益和社会效益。此外，在记忆合金、集成电路、计算机科学、力学等基础理论研究方面均取得重要成果。
资质能力：
