激光直写光刻系统
- 制造厂商：苏州苏大维格光电科技股份有限公司
- 购置日期：暂无信息
- 型号：Microlab 4A-100-H
- 生产国别：中国
- 仪器类别：激光器
- 安放地址：上海市
跨区域科技政策：
-
上海
-
南京宿迁淮安徐州泰州镇江扬州盐成常州无锡南通苏州连云港
-
杭州衢州温州台州舟山金华绍兴湖州嘉兴宁波丽水余姚
-
合肥毫州六安宿州阜阳黄山淮北淮南蚌埠宣城池州滁州安庆铜陵芜湖马鞍山
- 仪器详情
-
支持激光直写和激光干涉光刻两种功能，且具有可扩展空间,适合后期的自主升级。直写速度10mm2/min@0.5um, 40mm2/min @1um, 80mm2/min@2um。全息光刻模式可获得1000,1200,1400线对/毫米。图像分辨率达300-10000DPI，速度6-10点/秒。光学图形解析率包括0.5um，1um和2um；支持敏感区敏感蓝光的正、负光刻胶；具有双CCD对准光刻功能，对准精度0.5um；最大加工直径达100mm；配备XYZθ(转轴)位移平台，采用压电陶瓷电机驱动，XY定位分辨率可达10nm；有3D加工功能，激光光强有256级灰度，可实现Z方向不同深浅的加工。
-
暂无信息
-
暂无信息
-
直写速度10mm2/min@0.5um
-
物理学
-
支持激光直写和激光干涉光刻两种功能，且具有可扩展空间,适合后期的自主升级。直写速度10mm2/min@0.5um, 40mm2/min @1um, 80mm2/min@2um。
-
暂无信息
-
暂无信息
-
500
-
0
上海交通大学
机构介绍: 上海交通大学是教育部直属、由教育部和上海市共建的全国重点大学。近几年来，每年科研项目超过1500项，科研经费突破6亿元。高清晰度数字电视系统、MCFC燃料电池、以1mm微马达为核心器件的微机械等一大批高水平科研成果已经或可望产生巨大的经济效益和社会效益。此外，在记忆合金、集成电路、计算机科学、力学等基础理论研究方面均取得重要成果。
资质能力：
