反应例子刻蚀系统
- 制造厂商：Samco
- 购置日期：2014-04-21
- 型号：RIE-10NR
- 生产国别：日本
- 仪器类别：工艺实验设备
- 安放地址：上海市
跨区域科技政策：
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- 仪器详情
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刻蚀钝化材料如氮化硅、二氧化硅和氧氮化硅； 微型机械的生产； 失效分析
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暂无信息
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高选择比各向异性刻蚀； 具有全自动以及全手动操作模式可供调整； 具有碰触屏使数值输入以及工艺配方的储存更容易； 最大可处理直径8英寸晶片； 紧凑型设计可节省无尘室空间
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电子与通信技术
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刻蚀钝化材料如氮化硅、二氧化硅和氧氮化硅； 失效分析
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暂无信息
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上海新微技术研发中心有限公司
机构介绍: 上海微技术工业研究院（简称“上海工研院”，SITRI）成立于2013年，由上海市科委、嘉定区政府和新微集团发起共建，依托新微集团“三位一体”协同创新体系，打造集科学研究、技术开发、成果转化、产业孵化和人才培养于一体的研发与转化功能型平台。通过“超越摩尔”集成电路领域全流程中试和关键共性技术研发，为合作伙伴与创新团队提供全面技术支持和产业孵化服务。 上海工研院是国务院国资委“科改行动”标杆企业、国家知识产权示范企业、上海市“专精特新”企业，连续两年入选上海市硬核科技企业TOP100，已累计申请专利近千件，培育孵化公司20余家，总估值超过120亿元。 上海工研院立足上海、面向长三角、辐射全国，构建科学研究+技术攻关+产业孵化+资本赋能+人才高地全过程创新和高质量孵化生态链，建设科技创新和产业创新深度融合发展的“超越摩尔”功能型平台和产业生态，推动“超越摩尔”领域新质生产力跃升。
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