二氟化氙蚀刻检测系统
- 制造厂商： TH
- 购置日期：2009-09-17
- 型号：Xetch el TH
- 生产国别：德国
- 仪器类别：工艺实验设备
- 安放地址：上海市
跨区域科技政策：
-
上海
-
南京宿迁淮安徐州泰州镇江扬州盐成常州无锡南通苏州连云港
-
杭州衢州温州台州舟山金华绍兴湖州嘉兴宁波丽水余姚
-
合肥毫州六安宿州阜阳黄山淮北淮南蚌埠宣城池州滁州安庆铜陵芜湖马鞍山
- 仪器详情
-
光刻胶或二氧化硅
-
暂无信息
-
暂无信息
-
腐蚀速率约1 um/min
-
暂无信息
-
暂无信息
-
暂无信息
-
暂无信息
-
暂无信息
-
暂无信息
上海交通大学
机构介绍: 上海交通大学是教育部直属、由教育部和上海市共建的全国重点大学。近几年来，每年科研项目超过1500项，科研经费突破6亿元。高清晰度数字电视系统、MCFC燃料电池、以1mm微马达为核心器件的微机械等一大批高水平科研成果已经或可望产生巨大的经济效益和社会效益。此外，在记忆合金、集成电路、计算机科学、力学等基础理论研究方面均取得重要成果。
资质能力：
