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双束型聚焦离子束显微分析系统

  • 制造厂商:FEI HONGKONG CO.,LTD
  • 购置日期:2011-12-18
  • 型号:Helios 600i
  • 生产国别:捷克
  • 仪器类别:分析仪器
  • 安放地址:上海市

跨区域科技政策:

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  • 仪器详情
  • 纳米级加工及观测研究。

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  • 1.电子束系统分辨率:0.9nm(15kv)/1.4nm(1kv) 2.离子束系统分辨率:在束交叉点:4.5nm@30kV(统计测量法) 在束交叉点:2.5nm@30kV(单边测量法) 3.电子束加速电压:350V-30kV 4.离子束加速电压:0.5-30kV 5.电子束流:≤22nA 6.离子束流:1pA ?C 65nA

  • 航空、航天科学技术,矿山工程技术,材料科学,机械工程

  • 1. 截面样品加工; 2. 截面或平面TEM样品的制备; 3. 利用FIB进行各种材料的APT样品制备; 4. SEM里面的拉伸以及微纳米柱子样品制备,TEM里面的拉伸以及纳米柱子样品制备; 5. TEM 里面的加热以及电性测试样品制备,如兼容DENS,Protochips样品杆的TEM样品; 6. 利用FIB进行复杂图形的加工,以及小尺寸纳米结构的加工 7. 透射EBSD样品制备(TKD),特别是10nm的晶粒的样品

  • 暂无信息

  • 暂无信息

  • 2100

  • 126

上海大学

机构介绍:

上海大学是上海市人民政府举办的综合性大学,是“九五”、“十五”期间国家“211工程”重点建设高校,以本科教育为基础和主体,重点发展研究生教育,积极发展留学生教育。拥有理学、力学、文学、历史学、哲学、法学、经济学、管理学等8个学科门类。以国家级和上海市重点学科为支持点,以博士学位学科点为基本面,搭建布局和结构比较合理的学科平台。不断更新学科内容,为改造传统产业、开拓新型产业、促进社会文化进步提供有力的科技支持和人才保障。


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