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场发射扫描电子显微镜

  • 制造厂商:日本日立株式会社
  • 购置日期:2010-09-07
  • 型号:S-4800
  • 生产国别:日本
  • 仪器类别:分析仪器
  • 安放地址:上海市

跨区域科技政策:

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  • 仪器详情
  • 主要利用电子束与试样表面的相互作用产生的信息来观测固体表面形貌,还能获得晶体方位、化学成分、磁结构、电位分布及晶体振动方面的信息、研究试样的各种特性。广泛应用于材料、电子、半导体、生物、冶金等各个领域。

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  • 二次电子像分辨率:1.0nm(15KV, WD=4mm), 1.4nm(1KV, WD=1.5mm, 减速模式) 2.0nm(1KV,WD=1.5mm, 普通模式) 放大倍率: 20~2000×(低倍模式),100~800000×(高倍模式) 电子光学系统:电子枪: 冷阴极场发射电子源 束流:1pA~2nA 加速电压:0.5~30KV(0.1KV/步,普通模式) 0.1~2.0KV(减速模式) 样品台:五轴马达驱动 行程:X=0-50mm; Y=0-50mm;Z=1.5-30mm 倾斜: -5~+700 旋转:3600连续 探测器:高位/低位二次电子探测器,半导体式背散射电子探测器

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华东理工大学

机构介绍:

华东理工大学是一所以工科为主体,学科特色鲜明,工、理、经、管、文、法协调发展的教育部直属全国重点大学,是教育部、上海市、中石化总公司共建共管单位,2001年7月顺利通过了教育部组织的“211”工程“九五”期间建设项目验收。该校是教育部批准成立研究生院的50余所高校之一。学校建有40个研究所、1个上海市重点实验室、1个教育部重点实验室、2个国家重点实验室、5个国家工程研究中心或分中心和国家技术转化中心。学校现有两院院士2人、兼职院士16人、国家级有突出贡献中青年专家10人、“长江学者”特聘教授4人。SCI、EI、ISTP年收录论文200篇以上,2001年科研经费已超过1亿元。?分析测试中心是经国家技监局批准的国家计量认证单位(1993年),宝石检测中心是经国家技监局批准的国家计量认证和国家实验室认可委员会认可单位(1997年)。学校拥有40万元以上教学科研仪器近50余台,分析测试内容涉及化学、化工、石油化工、生物科学、材料科学和环境科学等学科领域。

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