TFT用磁控溅射镀膜系统
- 制造厂商：ULVAC.INC
- 购置日期：2009-11-01
- 型号：SME-200E
- 生产国别：日本
- 仪器类别：其他仪器
- 安放地址：上海市
跨区域科技政策：
-
上海
-
南京宿迁淮安徐州泰州镇江扬州盐成常州无锡南通苏州连云港
-
杭州衢州温州台州舟山金华绍兴湖州嘉兴宁波丽水余姚
-
合肥毫州六安宿州阜阳黄山淮北淮南蚌埠宣城池州滁州安庆铜陵芜湖马鞍山
- 仪器详情
-
多个工艺腔体分别沉积ITO、金属电极、金属氧化物等薄膜
-
暂无信息
-
暂无信息
-
基板尺寸：200mm×200mm 溅射方式：直流溅射、射频溅射（自动匹配） 自动控制：温度、压强、功率、气体流量等工艺参数
-
电子与通信技术,机械工程
-
多个工艺腔体分别沉积ITO、金属电极、金属氧化物等薄膜
-
暂无信息
-
暂无信息
-
暂无信息
-
暂无信息
上海大学
机构介绍:
上海大学是上海市人民政府举办的综合性大学，是“九五”、“十五”期间国家“211工程”重点建设高校，以本科教育为基础和主体，重点发展研究生教育，积极发展留学生教育。拥有理学、力学、文学、历史学、哲学、法学、经济学、管理学等8个学科门类。以国家级和上海市重点学科为支持点，以博士学位学科点为基本面，搭建布局和结构比较合理的学科平台。不断更新学科内容，为改造传统产业、开拓新型产业、促进社会文化进步提供有力的科技支持和人才保障。
资质能力：
