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上海工研院提供MEMS晶圆测试服务
可测试的器件类型有：加速度计、陀螺仪、硅麦克风和压力传感器等
可测试的参数包括：
漏电流
电容
其它静态参数
谐振频率
品质因素
阻尼系数
正交误差
其它动态参数
主要设备： STI3000全自动探针台
设备介绍：
通过STI3000全自动探针台，提供晶圆的接触测试、功耗测试、输入漏电测试、输出电
平测试、全面的功能测试、全面的动态参数测试以及模拟信号的参数测试等。
STI3000晶圆探针台的主要特征参数：
Wafer Size Range: 75mm - 150mm
Cassette to Cassette
Temperature Control Chuck optional
Automatic Alignment
OCR Camera
Dimensions: 53" x 32" x 56"
Weight: 770 lbs