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激光干涉仪

  • 制造厂商:1
  • 购置日期:2003-06-07
  • 型号:ML10
  • 生产国别:中华人民共和国
  • 仪器类别:计量仪器
  • 安放地址:上海市

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  • 仪器详情
  • 加工中心机床三轴的位置精度检测及其自动补偿,可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等

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  • 测量精度:±1.1PPM(在0--40℃下);测量范围:线性测长40m;测量速度:60m/min;分辨率:0.001μm

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上海航天机密机械研究所

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