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半导体特征分析系统

跨区域科技政策：

功能：
测试氧化层厚度，栅面积，串联电阻，电压，开启电压，体掺杂，徳拜长度，体电势等等。
用途：
暂无信息
应用领域：
暂无信息
主要技术指标：
1个最大电压源为210V，电压最小分辨率5Uv; 2.SMU系统4个，分辨率均为0.1fA，最大电流均为100mA，测试精度10fA; 3.C-V系统，频率范围：1KHz-10MHz，偏置电压：±30V（差分模式下为±60V）； 4.脉冲发生器频率：50MHz-1Hz,双通道，最小脉冲宽度为10ns@10V,50ns@40V； 5.电流测量精度：0.5%+1nA，I和V的采样率为5ns/点。
主要学科领域：
物理学
服务内容：
样品测试
服务典型成果：
无
参考收费标准：
仪器设备管理单位根据仪器设备的折旧费、材料费和人工费等，参照国内同类仪器设备的收费情况，拟定测试和加工收费标准，报学校收费管理领导小组批准后公布执行。
年总运行机时：
暂无信息
年对外服务机时：
暂无信息

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